臭氧濃度降低有多方面因素，設備結構、配件質量、電壓和驅動頻率、冷卻方式以及條件等等多方面因素。

影響臭氧機臭氧濃度因素：

　　臭氧發生器的加工精度，臭氧發生器主要由四部分組成：風機和控制系統，臭氧管、高頻電源。

第一，先進的沿面間隙管狀電極設計制造臭氧管，電極間隙為一，在高壓電場的強電離作用下，高速運動的電子撞擊氧氣使之分解成氧原子，高速電子具有足夠的動能，通過氧原子、氧分子及高速電子三體掽撞反應形成臭氧。臭氧管是臭氧發生器的核心部件，電極間隙對產生的臭氧管濃度有很大影響，間隙越小，臭氧濃度越大。

外接電源使用交流電源，經降壓整流變成直流電源，供高頻電源使用，高頻電源對臭氧管產生高頻電壓，使臭氧管工作，把氧氣轉變成臭氧氣體。風機和高頻電源的工作狀態由控制系統控制，主要控制臭氧管的工作時間，起到調節臭氧產量的作用。風機所用電源為，其作用是供給臭氧管工作所需氣源，加速臭氧管產生的臭氧氣體向機器外排放，并及時散發電機工作產生的熱量，以保證電機的工作溫度在正常范圍內。

第二，冷卻方式和條件;臭氧是一種氧化性極強的不穩定氣體，臭氧輸出濃度受多種因素的影響，其中腔體溫度是極重要的因素之一;臭氧在30度左右時會在1分鐘內衰減一半。

在40~50℃時衰減達到80%。超過60℃臭氧會馬上分解。

第三，驅動電壓和驅動頻率;控制系統中兩個主要執行元件風機和高頻電源均采用模塊化設計，接線點少，絕緣性好。延時開關一可調，可根據臭氧產量及實際需要自行設定，操作簡單，安全穩定。

第四，原料氣體中氧的含量及潔凈和干燥度;氣源對臭氧產量的影響產生臭氧的反應物為氧氣，因此氣源中的氧氣含量對臭氧發生器的臭氧產量有很大影響。我們以空氣、分子篩制備的富氧氣體及氧氣為原料，考察了氣體中氧氣含量對臭氧產量的影響，按"臭氧發生器臭氧濃度、產量、電耗的測量"標準一測量臭氧氣體的濃度，并根據進氣流量計算臭氧產量。由表所示，氣體中的氧氣含量越高，臭氧產量越大，但是，含量為的氧氣和的富氧氣體對臭氧產量影響并不大，在相同操作條件下，臭氧產量基本相同。

注：

隨著氣體流量的增加，臭氧濃度降低，產量增加，但當流量增加到一定值時，臭氧濃度及產量變化較小。氣體流量是臭氧發生器的重要參數，對臭氧產生濃度及產量有很大影響。增加氣體流量，可以增加臭氧的產量，降低臭氧濃度，抑制臭氧的分解，降低電耗。因此，可以根據實際需要，確定氣體流量。